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洁净厌氧高温气氛炉

适用于光电器件、PCB、电子、通讯、新能源产品及材料、晶圆制造过程中表面涂布的光刻胶(聚酰氩胺)等在指定的温度无尘(100级)环境下烘烤、干燥、固化热处理及温度老化等。

产品特点:

  • 采用高耐热性能的高效过滤器,箱内洁净度可以保持在100级。

  • 氧浓度可低于20PPM,洁净度可达100级。

  • 最高工作温度300℃。 

  • 独特的气路设计,高气密性的压力箱,氧浓度到达时间短,氮气消耗量低。

  • 独特的门锁设计,配备电子锁功能,操作方便,密封性好。

  • 独特的风道结构,采购轴流风扇直吹送风方式,均匀性好且可以实现快速降温。

  • 大中小三路流量计控制,节省氮气,保护人生安全。


控制系统:

  • 触摸式温度控制器是远东腾辉公司针对设环境备行业开发。它由触摸屏, PLC、温度模块组成,功能强大。触摸屏自带可视编辑软件、PLC 逻辑编程、 可扩充输入输出口、可扩充多点温度 ; 具备 USB 接口,可以导出数据 ( 时 间可选 ),可通过 RS485 通讯与 PC 连接实现远程监控。 

  • 本公司自行研发高性能控制器,65536 色 7”TFT 真彩触摸屏,800x480 点阵, 确保显示效果逼真,操作舒适,整个界面风格简洁清晰,操作方便,运行可靠。 

  • 控制器具有强大侦错保护功能,故障报警及解除说明 ; 可扩充的输入输出口, 可以依据要求编制不同控制程序来实现不同的功能 : 针对各种环境设备分别 开发,可统一用软件集中电脑控制,控制器界面风格一致,方便用户操作。 

  • 采用 PLC 程序控制,具有定时运行,停止功能和断电保护功能,稳定性好。

  • 可接集中监控软件,且提供通讯协议,便于用户进行二次开发 ; 可远程监控 多台试验箱。


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