晶圆制造过程中，对晶圆表面涂布的光刻胶（聚酰氩胺）进行高温固化处理。

◆最高工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下
◆程序运转功能，有自动/手动两种操作模式
◆快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式
◆配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等
◆在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、
氮气流量常、 过电流漏电保护断路器等安全装